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半導體-底部填膠氣泡去除案例

[發布日期:2020-01-03 11:16:23] 點擊:


 

半導體-底部填膠除氣泡案例

制程介紹:
使用覆晶方式將芯片透過bump或solder ball與wafer結合. 再以底部填膠作業利用毛細現象原理將間隙膠材填滿.

常見問題:
底部填膠后, 經常會有氣泡, 這會造成產品信賴性問題, 內部氣泡將導致后續製程在經過迴焊爐solder 之間橋接, 導致元件功能失效

問題解決應用:
當做完底部填膠后, 于腔體內對施以真空與壓力及加熱烘烤, 能有效達到除氣泡效果

底部填膠氣泡

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